五百片晶圆。合格品一百五十片。
良率百分之三十。
周明远盯着那个数字，嘴唇动了两下，什么都没说出来。
他把报告折起来塞进口袋，转身走进工艺分析室，把门关上了。
接下来四十八个小时，周明远带着团队从头到尾排查了每一道工序。
光刻对准精度：达标。
刻蚀均匀性：达标。
薄膜厚度控制：达标。
掺杂浓度分布：达标。
退火温度曲线：达标。
单看每一项，全部在规格范围之内。
但合在一起，良率只有百分之三十。
问题不在任何一个单独环节。是多个工序之间的微小偏差叠加在一起，产生了系统性的累积误差。光刻偏了零点三纳米，刻蚀又偏了零点二纳米，薄膜厚了零点一纳米——每一个偏差都在容差范围内，但六七道工序叠下来，总偏差就超标了。
周明远试着调参数。
调了第一版，跑了一百片，良率百分之三十四。
调了第二版，良率掉到了百分之二十七——更差了。
调了第三版。百分之三十一。
原地打转。
传统的方法是逐项调参，一次改一个变量，固定其余变量，观察结果。但一百三十七个关键工艺参数相互耦合、彼此牵扯，改了A就影响B，调了B又带歪了C。
这不是人力能穷举的组合空间。
周明远在工艺分析室里拍了桌子。
从认识他到现在，这是周明远第一次失态。桌上的咖啡杯弹起来，棕色的液体泼了一桌子数据表。
消息传到京州市政府的时候是下午四点。
苏哲正在翻明年的预算草案。林锐把周明远的通话记录转述了一遍，末了加了一句：“周总工说他需要时间。”
苏哲没有回应这句话。他拿起手机拨了另一个号码。