“底楼是重载和超稳计算层,对地面承重和防微震要求最高,所以这几台大家伙都安放在这。”
“二楼到四楼,是万级和千级的洁净室,也是精密工艺和核心研发层,之后物镜的镀膜、光刻胶的旋涂、掩模版的制作,都在上面进行。”
“五楼和六楼,则是动力和安全保障层,强电、超纯水、特种气体,还有冷却系统,都在顶上。”
陈景山三言两语,将整栋楼的布局介绍得清清楚楚。
所有区域的划分,完全是围绕着光刻机三大件的研发流程来设计的,逻辑严密,堪称教科书级。
众人听得一愣一愣的。
这份规划,可不是临时起意就能搞出来的。
“了不起,太了不起了,陈院长。”
贺一诚直起身子,满脸感慨。
“光是楼下这几台,就够我们精密仪器所眼馋好几年了。”
“有了它们,物镜的加工和检测,至少能提速一半。”
“是啊,”
杨林也走了过来,他看着另一侧一台用于磁场标定的亥姆霍兹线圈阵列,搓了搓手。
“工件台的初期模型验证,也能提前开始了。”
他们脸上的兴奋与满足,是实打实的。
眼前这些,简直就是他们过去想都不敢想的豪华配置。
然而,陈景山却摇了摇头。
“还不够。”
他这一句话,让所有人的讨论都停了下来。
还不够?
陈景山看着众人疑惑的表情,继续道:
“这些,都是能用钱解决的,特事特办,采购流程走得快一些罢了。”
他顿了顿,话锋一转。
“还有几样关键的大件,采购流程特殊,目前还在路上。”
“不过下周应该能到。”
魏建成一听,也是来了精神。
“老陈,是什么大件?”
陈景山看了他一眼,语气平淡。