第166章 周德明与陶安然(1 / 4)

小桥流水瘦马 / 著

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经开区。启棠科技碳化硅研发中心。

一楼的量产测试车间里,气氛比外面的三伏天还要焦灼。

三台改造好的华科外延炉呈“品”字形排列。

陶安然手里攥着一沓刚打印出来的测试报告,指关节因为用力而泛白。她今天没穿那件标志性的灰色卫衣,而是套着严严实实的无尘服,只露出一双布满血丝的眼睛。

“周总监!”陶安然的声音穿透了车间里真空泵的嗡嗡声,带着明显的怒意,“这三根晶棒的数据我看了。两根完美,一根在生长中段出现了微观应力裂纹。良率66%!”

她把报告重重地拍在不锈钢操作台上。

“我早说过,这台炉子的温控曲线在1850度到1900度这个区间,热场分布有0.2度的延迟!必须在生长中段动态调整氩气流量,才能释放热应力!你为什么把我的动态参数改成了恒定流量?!”

周德明站在操作台对面。

他没穿无尘服,只套了一件白大褂,里面还是那件洗得发白的旧夹克。这老头似乎对无尘车间的规矩有一种天然的蔑视,但偏偏他站的地方,连一粒灰尘都不敢落。

他拿起那份报告,连老花镜都没戴,眯着眼睛扫了一眼。

“陶工。”周德明的干巴巴的回道,像两块生锈的铁皮在摩擦,“你的动态参数,我看了。很精妙。在实验室里,你一个人盯着一台炉子,随时微调气阀,确实能长出完美的晶棒。”

他把报告扔回桌上,抬起头,那双浑浊眼睛直视着陶安然。

“但这里是量产线。”

周德明竖起一根粗糙的手指。

“十台炉子同时开,你指望车间里的操作工像你一样,凭感觉去微调每一台炉子的氩气流量?只要有一个工人的手抖了一下,或者反应慢了半秒,整炉的货就全废了!”

“量产,靠的不是天才的灵感,是傻瓜式的纪律!”周德明的声音在车间里回荡,“我把你的动态参数改成恒定流量,是为了把操作变量降到最低!66%的良率虽然难看,但它是可复制的!你的99%,在量产线上就是一颗定时炸弹!”

陶安然气结。

她在硅谷的时候,哪受过这种气?她设计的参数,从来都是被当成金科玉律供着的。

“你这是因噎废食!”陶安然毫不退让,“因为工人可能出错,就放弃最优的工艺路径?你这是在扼杀这台设备的潜力!你知不知道,如果按我的参数走,这根裂掉的晶棒能多切出多少片合格的晶圆?!”

“我只知道,按你的参数走,我没法写SOP(标准作业程序)!”周德明一巴掌拍在操作台上,“不能写进SOP的工艺,在量产线上就是垃圾!”

两人针锋相对,互不相让。

车间里的空气仿佛凝固了。几个新招的实验员缩在角落里,大气都不敢喘。这俩神仙打架,谁敢上去劝?

“咔哒。”

车间的气密门被推开了。

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