第451章 极限在哪里(6K)(6 / 6)

鸦的碎碎念 / 著

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从2017年加入中芯国际担任联席CEO以来,在他的领导下,中芯国际的制程研发速度实现了惊人的飞跃,哪怕没有林燃,中芯国际也实现了在没有EUV等尖端设备情况下的7nm芯片制造能力,小批量用于特定产品。

最重要的是体系,他帮中芯国际构建了完善的半导体制造和研发体系。

当然,技术是一方面,林燃更敬佩的是对方的人品,对方在加入中芯国际才两年就捐了90万在杭电成立孟宁奖学金。

和来大陆其他的4v半导体精英们在画风上差异太大。

“林总,目前我们的CG-1光刻机还在技术验证的过程,从理论上而言,它已经没有问题了,只是它的稳定性太差。

超构透镜这套镜片系统确实很先进,精度很高,但同样,它也有它的问题。

那就是我们不能轻易去调整它,这套透镜系统太精密了,任何微小的温度、震动或颗粒物变化,都会导致光学失真。

一旦失真,我们不得不停止生产,重新进行数周的对准和校正。

校正一次的成本,甚至比生产一个月的7nm晶圆还要高。

和传统的半导体生产设备比起来,这条技术路线最大的问题在于,它的调试成本太高,无论是时间成本还是金钱上的成本。”梁孟松解释道。

正当台积电想要获得白宫许可,卖5nm的芯片给华国的时候,华国已经摸到了4nm的门槛。

这台命名为CG-1的光刻机,虽然还不是EUV光刻机,因为华国还没搞定光源,但已经是传统DUV光刻机路线下的极限。

“梁工,你犯了一个绝对稳定的工程错误。”林燃轻声提醒道。

梁孟松一愣,不解地看着林燃。

在过去的合作过程中,梁孟松知道林燃也许对工艺没有他那么熟练,但对方天马行空的想法,尤其是在数学解决工程上的能力,绝对是蓝星之最。

他们内部团队戏称,数学上的问题如果林燃没有办法解决,那这个地球上就没有人能解决了。

“我们用超构透镜的极限精度,实现了4nm的理论分辨率。

但你试图用传统的静态被动稳定方法,不管是隔绝振动还是恒温恒湿去驯服它。

我们花无数时间去调试,去追求一个理想中永恒不变的完美焦点。”

林燃抬手,指了指空气,似乎他们眼前就有CG-1光刻机一样。

“但CG-1的透镜组,永远不可能像ASML的纯石英镜片那样稳定。

它的材料、它的结构,注定对环境更敏感。

无论是从现在,还是从长远来看,我们都必须放弃绝对稳定的幻想,转向动态补偿。”

(本章完)

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