超导加速腔全功率运转,EUV光源开始进行高频脉冲切割。
整个车间里,几十双通红的眼睛,一眨不眨地黏在大屏幕那片跳动的绿色数据上。
没有人说话。
甚至没有人敢大口呼吸。
时间,在这刻被无限拉长……
在所有人的注视中,整台光刻机没有丝毫的卡顿,没有任何一个红色的报错跳出,就那么稳定、高效、冷酷地运转着。
终于。
伴随着清脆的电子蜂鸣,操控台屏幕上弹出了“批量作业完成”的硕大绿色字样。
但,依旧没有人欢呼。
因为所有人都明白,真正的审判,还没有到来。
林渊转身,朝几个研究员抬了抬下巴。
“取片,送检。”
几个研究员猛然惊醒,赶忙上前,将那一百片承载着整个国家希望的晶圆,整齐地码放在专用托盘上。
随后,一行人浩浩荡荡地朝检测区走去。
扫描电镜检测区内。
几台高精度设备已经提前预热完毕。
林渊没有亲自动手,而是将这个任务交给了几个核心技术骨干。
“分组检测,每台设备负责二十五片,全部扫描完毕后,汇总数据。”
“是!”
检测,正式开始。
四块独立显示屏上,灰白色的电镜成像照片,一张接一张地弹出。
线条平直,边缘锐利,结构完美。
第一片,合格。
第五片,不合格。
第十片,合格!
随着晶圆的检测结果一个个出来,车间里的气氛非但没有放松,反而愈发紧绷。