此话一出,会议室的气氛一下子绷紧起来。
这才是重头戏。
所有人都竖起了耳朵,连呼吸都下意识地放缓了。
“先说物镜。”
“传统光刻机的物镜系统,大家都清楚,本质上就是一套极端复杂的折射光学透镜组。”
“几十块甚至上百块超高精度的玻璃透镜,层层堆叠,去校正像差、色差、还有各种杂七杂八的光学畸变。”
“一块透镜的面形精度要求做到亚纳米级,然后再把几十块这样的透镜叠起来——这条路线的工程难度,在座的各位比我更有发言权。”
这话说得平淡,但在座搞精密仪器的人,脸上的表情都沉了下去。
因为这正是他们多年来啃不动的硬骨头。
不是不会设计。
是我们的工业基础,根本加工不出来!
一块透镜差零点几个纳米,几十块叠在一起,误差累积,整套物镜系统直接报废。
“所以,我的研究方向不走这条路。”
林渊的话干脆到了极点。
“我研究的是——消色差超构透镜。”
消色差超构透镜?
这个概念并不算全新,学术圈里有零星的前沿论文讨论过。
但那些讨论,无一例外停留在最基础的理论探索阶段,离实际应用隔着十万八千里。
而林渊现在说的是,他要把这个东西,用在光刻机的物镜系统上。
精密仪器所的老所长把眼镜重新架回鼻梁上,嘴唇动了一下,但没出声。
他身旁那个中年骨干已经拿起了笔,手悬在笔记本上,却一个字都写不出来。
因为林渊根本没给他们反应的时间。
他直接翻篇了。
“再说双工件台。”
他的话头转得极快。
会议室里,自动化控制所的那个精瘦中年人,身子不由自主地前倾了半寸。