他的手指在密密麻麻的数据点上快速滑动。
王研究员凑过去看了一眼，眉头也皱了起来。
“这个掺杂比例。理论上确实能稳定晶格结构。但你们是怎么在工业级设备上实现这么精确的温度控制的？”王研究员问。
苏明哲看向陈启。
陈启没说话。这是系统的功劳，但他不能说。
“我们改了设备的底层控制逻辑。”苏明哲回答，“把温度传感器和加热元件的反馈延迟压到了毫秒级。这是我们自己摸索出来的SOP。”
张院士合上报告，“厉害”
沈副司长在旁边微微点头。他不懂具体的技术细节，但他懂看人的表情。张院士的反应，已经说明了一切。
“走。去看看你们的碳化硅。”沈副司长说。
一行人穿过厂区，来到碳化硅研发中心。
这里比钠电车间要安静得多。无尘服、风淋室，规矩森严。
陶安然和周德明正在监控室里盯着十台外延炉的运行参数。
陈启带着调研组换好防静电服，走进了观察走廊。
“陶工。周总监。”陈启通过对讲机喊了一声。
陶安然，看到玻璃墙外的调研组。她放下手里的记录本，走了出来。
“各位领导。这是我们的碳化硅量产测试线。”陶安然的语气充满了自信。
王研究员直接走到玻璃墙前，趴在玻璃上往里看。
“这外延炉。看着眼熟啊。”他指着其中一台设备。
“是华科精密的旧型号改造的。”陶安然如实回答。
“华科的旧设备？”王研究员愣住了，“那玩意儿的温场均匀性极差，你们用它来长碳化硅晶圆？”
陶安然没等他继续说，直接怼了回去。
“王老。设备是死的，人是活的。”
她走到控制台前，调出一张温度场分布云图。
“您看看这个。这是我们改造后的热场实测数据。”