第421章 谢威这是不准备过了?8亿砸激光跟纳(3 / 6)

葫芦村人 / 著

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关键目前学校往相关领域的科研经费投入减少了很多。

“中科院半导所的JK-3型只有1微米精度,华清大学的分布式投影光刻机目前精度同样只有1微米,学校的就不说了,到目前只有2微米,还只能用于实验室……这几年因为高考人才跟经费等原因,我们跟这两单位的合作……”

谢威再次叹了口气。

早几年,他就有合作的想法。

奈何,谁主导就成了问题。

谁都不愿意由其他单位来主导,谢威更不想让其他单位主导——他提出的是采用极紫外光源作为光刻机的光源。

在全世界范围内,连深紫外(DUV)目前的研制都不是很多,主流的光源还是紫外光源(UV),也就是在哈工大,谢威作为隐形的话事人,才不会有人质疑。

中科院半导所跟华清大学等,根本就不鸟谢威——现在手里的研究成果都没法跟国外最前沿的比,一旦放弃,之前的研究就白费了。而谢威提出的极紫外光源,目前几乎没有什么基础——这是要利用准分子激光照在锡滴液发生器上,激发出13.5纳米的光源来作为光刻机的光源。

激光!

纳米!

这两种在目前全世界范围内,都属于绝对的前沿科技!

不仅需要更先进的检测系统,同样也需要精度更高的控制系统。

“谢主任,咱们要不先放弃极紫外光源?”

一直沉默的黄先生看着谢威的眼睛,轻声开口。

“极紫外光源的研究,是不可能放弃的!哪怕学校所有的项目全部停了,也不能放弃!”

谢威摇头。

脸上满是坚决。

放弃是不可能放弃的,一辈子都不可能放弃。

无论激光还是纳米制造技术,都是未来。

“以目前的情况,十年内,都不会有成果。这方面消耗的资金实在是太多了……”

黄先生叹了口气,看着谢威满脸的坚定,表情有些复杂。

她一直都没想明白在她印象中向来沉稳的谢威,为什么在本就属于半导体芯片生产流程中最关键、也是最复杂的光刻机上会如此“好高骛远”。

搞基础一些的,先解决有无,积累技术,然后再往最顶级的技术发起冲击啊。

可谢威直接跳过了前面的技术跟经验积累阶段。

刘德宝跟倪光南的目光都投向了谢威,希望黄先生的劝导能管用,这事情,刘德宝等人可是劝了谢威不知道多少次。

没用!

“这事情就不说了。李瑞主任将会牵头,整合华清、中科院半导所等单位的力量,重点公关……”

谢威直接拒绝谈这话题,“激光跟纳米制造技术是不能放弃的!除非我对学校没有任何影响力。”

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