第134章 接受军方任务(3 / 3)

萤火年年 / 著

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年轻技术员压着心底的忐忑,轻声汇报,声音被口罩闷得低沉含糊。

“苏工,这批试样还是老问题。光刻显影后,栅极线条边缘不够平滑,有细微毛刺,而且部分片区掺杂浓度偏差超标,达不到量产标准。

我们按照原DTL工艺参数微调过几次,偏差反而更大。”

苏砚闻言没有立刻开口责备,只是微微颔首,抬手微调显微镜焦距,动作轻柔稳当,力道精准分毫不差。

她俯身凑近目镜,目光沉沉落在微小精密的管芯结构上,细细观察纹路、涂层与掺杂层次,几秒后便精准摸清了问题根源。

她直起身,指尖轻点记录本上的两组核心参数,语气平稳温和,却带着不容置疑的专业底气,字字清晰、条理分明。

“DTL是双极工艺,和我们现在攻坚的PMOS工艺底层逻辑完全不同,不能直接套用老参数。

双极工艺侧重电流放大,而PMOS核心在栅氧层的均匀度和可控性,生搬硬套只会出现边缘畸变、掺杂失衡。”

说着,她侧身让出操作台的位置,示意技术员上前实操观摩。

暖黄灯光落在她洁净服肩头,沉稳的嗓音在机器嗡鸣中清晰传开,耐心拆解每一处操作细节。

“接下来调整两组关键参数。第一,把氧化炉恒温区间上调三摄氏度,延长二十分钟恒温保持时间,让栅氧层生长得更均匀致密,从根源减少边缘毛刺。

第二,降低离子注入速率,放慢掺杂进度,宁可慢一点,也要保证整片硅片的掺杂浓度均匀统一,杜绝局部偏差。”

两名技术员连忙上前,一人紧盯仪器表盘记录参数,一人俯身核对显微镜下的管芯状态,紧绷的神经渐渐松弛。

苏砚一边紧盯设备运行状态,一边趁热打铁,纠正团队固化的老工艺思维。

“大家要记住,我们现在是在成熟的DTL工艺线上,硬生生开拓MOS集成电路的量产路径,不是简单的参数微调,而是工艺体系的革新。

以往进口零散IC参数杂乱、没有统一标准,我们现在每一次精准调试,都是在搭建属于我们自己的国产工艺规范。”

她抬手拿起一片调试合格的硅片,举到灯光下,薄如蝉翼的硅片泛着清冷细腻的光泽,规整均匀的电路纹路清晰可见。

“你们看,合格的PMOS小规模集成电路,线条平直无毛刺、掺杂均匀无偏差,这就是我们要落地的量产标准。

后续我们制定的逻辑IC、运算放大器国产规范,就要以这套工艺参数为基准,彻底摆脱对进口芯片的依赖,优先保障军用电台、精密仪器仪表的核心供给。”

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