没有人动。
因为所有人都明白,试刻完成,不等于成功。
真正的审判,在扫描电镜之下。
林渊启动真空释放,用真空吸笔将晶圆稳稳取下,转身走向车间东侧的扫描电镜检测区。
他的脚步不快不慢,背影沉稳。
身后,几十道滚烫的目光,紧紧追随着他。
他将晶圆送入样品仓,关闭密封舱门,启动高分辨扫描。
检测区的独立显示屏亮了起来。
几秒钟的加载后,第一张扫描电镜照片,被推送到了屏幕中央。
灰白色的成像画面中,纳米级的电路线条清晰地铺展开来。
线条均匀,边缘锐利,间距精准,没有半点毛刺,没有一处塌陷。
那些被放大到几万倍的微观结构,排列得整整齐齐,干净得近乎不真实,充满了颠覆性的工业美感。
“嘶——”
车间里,压抑的抽气声此起彼伏。
紧跟着,第二张、第三张照片接连弹出,系统自动标注的LWR数据、CDU数据、套刻精度数据,一行行跳出来。
全都是代表达标的绿色。
见状,车间里终于开始有了动静。
研究员们不由自主地长长吐出一口气,紧绷的身体松弛下来,脸上涌出难以自控的狂喜。
但没有人敢在这时放声庆祝。
临门一脚前的任何松懈,对于这群与精密工程搏斗了一生的科研人来说,都是大忌。
而在这片压抑的喜悦中,唯有一人,脸上没有丝毫波澜。
林渊站在检测台前,视线在屏幕最后一组数据上停留片刻,随即抬手,关掉了扫描程序。
“很好。”
他说了两个字,转过身,面向屏息等待的众人。
“单片精度验证,通过。”