第223章 实验验证的核心挑战(2 / 5)

千越南秋 / 著

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他这么多年,每天几乎都要学习十八个小时,其中还包括雷打不动的日常锻炼。

虽只用了几天对设想完善,却比其他人多很多时间。

况且在多线程并行思维演算推导下,若完不成的话那才真有问题。

「你们年轻人身体就是好,我和老贺就不行喽。」丁顺安点点头微笑著打趣。

贺鹏涛接话道:「我可比你还小一岁呢。」

待互相闲谈了两句后,贺鹏涛突然面色严肃,用非常正经的语气看向徐铭,重新把话题给引到了正事上面。

「徐总师。」

「我这边已经准备妥当,随时可以开展实验。」

「微电子装备也一样。」丁顺安补充道。

徐铭听完两位院士的话,又看向两旁眼中浮现出炙热目光的教授研究员,也终于不再卖关子,嘴角微微上扬拍板正式做出决定来。

「那好。」

「下面我来安排具体任务。」

他这几天沉浸完善设想补充漏洞,正是为了能尽快验证极紫外光源。

只要解决了最核心的光源系统,那么距离国内攻克高端极紫外光刻机也就不远。

主要高端晶片涉及到的行业实在太多,还关系著很多先进技术的更新叠代,必须用最短的时间走出困境才行。

否则较长时间待在这空窗期内,很有可能会再次被海外拉开差距。

尤其是六代机项目,好不容易才与海外站在起跑线。

既然大家都没有什么意见,他肯定也不会耽搁,话音落下后便直接安排起来O

极紫外光源被称作难以驾驭的微光,海外方面的主流技术是采用雷射激发等离子体,需要用高功率雷射,以每秒数万次的频率轰击滴下的液态锡滴,将其激发成等离子体从而发出极紫外光源。

但由于过程的能量转换效率极低,要满足晶片量产所需要的曝光速度,其功率必须达到250瓦以上,这意味著输入的能量是巨大的。

除此之外整个光路还要在真空环境中进行,使得系统复杂性大幅度上涨。

再加上锡滴方案产生的碎屑,更让极紫外光源系统成为科研人员的噩梦。

而徐铭的设想,则是对系统重新架构。

相比较主流方法的动态轰击液体锡滴,他采取了静态激发的方案。

用一束高强度和高重复频率的雷射,照射在高速旋转的光源靶盘上,如此通过等离激元耦合态理论,雷射能够在每一点上瞬间激发耦合态,从而稳定以及高效的辐射出极紫外光源。

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