陈延森笑了笑，并未拒绝，大大方方地应下。
紧接着，行至一处巨大的观景窗前，可以俯瞰整个生产区域。
姚传强适时同步道：“这片是晶圆制造的核心动线，从左到右依次是扩散区、光刻区、刻蚀区和离子注入区，每个区域都配备了双重冗余系统，哪怕单一设备出现故障，备用设备能在30秒内无缝衔接，确保生产不中断。”
“陈总，是我心急了，应该等星源科技投产后再来才对。”
孟远志望着空荡荡的场区，以及正在平整地面、安装窗户的工作人员，轻声说道。
“孟先生来得正是时候，正因为还未投产，才能看到生产基地最真实的一面。”
陈延森指着光刻区的方向：“比如那十二个C45混凝土基座，每个都深入岩层二十米，内部铺设了三层阻尼减震系统。
为了达到EUV光刻厂的防震标准，我们在基座里灌注了特种树脂，单这一个环节就耗时两个月。
当振动频率在1赫兹以下时，振动位移限值能控制在0.1纳米；在大于100赫兹时，也能将振动位移限值限定在1纳米之内。”
孟远志顺着指引细看，果然发现基座表面有着不同寻常的光泽。
这时姚传强适时递上平板电脑，调出施工时的三维剖面图。
“这是华科协会力学所专门设计的悬浮式基础结构，每个基座都像漂浮在弹簧上，能隔绝地面振动和声波干扰。”
陈延森接过平板，不紧不慢地解释道。
孟远志俯身盯着基座接缝处的参数，虽然不太明白，但有陈延森在旁边，迅速就理解了这项数据背后的意义。
“湾积电金陵制造厂的防震标准，不及星源科技的十分之一，因为破晓A220的精度要求比现有的EUV光刻机还要高一个数量级。”
陈延森轻描淡写地说道。
他的潜台词是，破晓A220的性能、生产效率，绝对属于世界一流水平。
“破晓A220什么时候能投入使用？”孟远志追问道。
“最快年底。”陈延森想了想说道。
光刻机在正式使用前，第一要与生产线磨合，第二要解决光刻胶和显影液的适配问题，自然是没法一蹴而就。
“一期生产区的产能是多少？”孟远志又问。
“预计300万片12英寸晶圆，三期工程合计1400万片。”
陈延森回答道。