第585章 国产光刻机崛起的希望!高通?小丑(2 / 5)

今月曾经照古河 / 著

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陈延森要钱给钱,要器材给器材,完全是一副财大气粗的样子。

林南在研究所蹉跎了十几年,眼看民营公司的研究员都拿到了诺贝尔化学奖,他哪里还坐得住?

在收到陈延森的邀请后,二话不说,就加入了星源科技的光学研究实验室,与光电所的院士们并肩作战,试图另辟蹊径,寻找一种可商用的EUV光源激发方式。

起初毫无进展,直到陈延森指了一条天马行空的路线。

用“电磁场”代替“激光”作为激发和约束等离子体的手段,在放电区域周围设置一组超导磁体线圈,产生一个特殊的磁镜场构型。

先用脉冲电流激发等离子体,再用多层反射镜来收集13.5纳米的波长,最后聚焦和输出。

林南原本不以为然,但在研究一段时间后,他发现老板的方案并非是空想,而是具备极强的可实现性。

事实证明,这条路是对的!

“行,先这样。”

陈延森极为平淡地挂了电话。

在他看来,光刻技术是个无比庞大的环节,除去光源部分,物镜系统、双工作台、光刻胶等模块也是重中之重。

搞定EUV光源的激发方式,不过是千里之行,才走一步而已。

另一边。

林南暗自咋舌,表情有些失控,他其实很想再打回去告诉老板:“凭借这项技术,明年拿个国家最高科学技术奖,也不是没有可能啊!”

可他转念一想,深蓝科技还有三个诺贝尔化学奖的获得者,老板的反应平淡也很正常。

由于‘磁约束放电等离子体光源’是星源科技和华科协会的共同研究成果,消息在国内的科学界飞速传开。

胡锐晖在得知后,猛地站起身,根本不敢相信。

“这才四个月不到,就特么有成果了?开什么玩笑?”

胡锐晖在办公室里走来走去,竟破天荒地爆了粗口。

同一时间,哈工大光学实验室和龙州光机所也收到了消息。

第一反应,假的!

可他们在反复验证后,又不得不相信,星源科技和燕京光电所,还真把EUV光源技术给搞了出来。

并且,还成功绕过了阿斯麦、卡尔蔡司、山星、湾积电和Cymer构筑的专利防御墙。

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